喷淋清洗机由电子控制高压水泵储液箱组成,高压喷淋清洗机操作简单,故障少,原理是利用高压喷淋结合清洗剂的化学去污等作用,清洗后工件表面干净,顺势研发出单工位旋转喷淋清洗机。
现有的旋转喷淋清洗机在使用时存在着一定的问题,在使用旋转喷淋清洗机时操作门关闭较为复杂,密封性不好,由于旋转喷淋清洗机内部利用水源清洁,所以需要一定的密封性来放置内部水源的泄漏,以便减少清洁和工作难度,但现有旋转喷淋清洗机操作门在关闭时较为复杂,不仅操作难度较大,同时浪费了时间,降低了工作效率,同时会存在一些水源泄漏的情况,耽搁了工作进展,带来了经济损失的问题,为此我们提出单工位旋转喷淋清洗机。
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越先进,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
旋转喷淋清洗机
专业定制喷淋清洗机、单工位旋转喷淋清洗机、多工位旋转喷淋清洗机、定位旋转喷淋清洗机等,从2000年开始,一直致力于工业清洗设备的研发、生产制造,并且现阶段,已经有一套完整的工艺流程可供客户选择,不断试验,不断突破,为客户提供更好的清洗解决方案,让工业清洗更轻松。
我们正在对我们的器械清洗机进行日常测试。在性能测试之前,是否需要对每台机器进行物理检查?如果需要,检查中应包括哪些内容?
答:为将清洗消毒机等处理设备的效率性能大化,对设备及其部件进行常规检查是非常重要的。记住,清洗架也是处理设备的一部分,使用前需要小心维护和检查。
任一层喷淋臂或输水性能差异都会阻碍清洗机的功能和清洗效果。因此清洗机每一层的性能都有可能不同。仅测试一层不能对清洗机的整体性能进行充分或真实评估。
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